產品型號：ZYJG-2000。

激光清洗系統產品說明：

        Ex-light是新一代準分子激光清洗系統。采用了德國Mlase超穩定的低功率準分子激光器，通過光束傳導、勻化、投影技術，使激光均勻照射到材料表面，對材料進行紫外激光加工。該系統結構設計緊湊，集成度高，光路穩定實用，光斑勻化效好，傳輸效率高，增強樣品表面激光能量密度，提高加工質量和效率。

準分子激光器：

       逐層去除、非接觸式、無二次污染、無損耗。

應用行業：

        1、微電子行業：晶圓面板激光清洗、電路板清洗；

        2、OLED微型顯示器芯片：芯片管腳PAD焊線前激光清洗、液晶顯示器清洗；

        3、文物藝術品保護：無損還原；

        4、汽車產業：各種焊接處焊后激光清洗；

        5、其它：材料表面各種雜質、氧化物、微小顆粒物、油污去除。

技術特點：

1、DUV準分子激光器，短脈寬，高峰值功率；

2、靜態氣體壽命 >30天；

3、激光器壽命 >20億次脈沖；

4、多種光路方案，可定制；

5、反射/透射照明；

6、X，Y位移臺安裝在剛性花崗巖基座上，線性驅動，1μm分辨率 ；

7、電動焦點控制（沿Z軸）；

8、配有同軸和離軸相機，模式識別軟件可選 ；

9、快速響應時間，易于操作的軟件；

10、同軸機器視覺示意圖，所見即所得。

光束傳播特點：

1、能量控制 10-80% ；

2、投影縮倍4x-20x ，可定制；

3、工作距離>25mm；

4、目標能量密度 0.25-10J/cm2 ；

5、同軸顯微成像；

6、光斑勻化系統。

光路勻化介紹：微透鏡陣列勻光成像示意圖
晶圓清洗監控界面-所見即所得	加工代碼、路線、導航界面	準分子激光傳輸/照明/機器視覺系統示意圖
Mlase準分子激光器：采用德國Mlase準分子激光器作為光源，能量輸出穩定，光束質量好，有較短脈沖寬度和較高峰值功率。免維護設計，使用簡便、安全、穩定、高效。

軟件功能：

圖形化加工路徑顯示

晶圓自動聚焦、自動對位

大視野晶圓導航圖

激光參數設定及調試

加工進程控制、中斷自動恢復

芯片參數導入

壞點剔除功能

參數：