答：準分子激光器是以惰性氣體和鹵素氣體的混合氣體為工作物質的氣體激光器。通過高壓電容在短時間內迅速放電的方式進行激勵。當受激態準分子的不穩定分子鍵斷裂而離解成基態原子時,受激態的能量以激光輻射的形式放出。

答：準分子激光輸出都處于紫外波段，最常用的波長有157 nm、193 nm、248 nm、308 nm、351nm。

答：準分子激光的用途十分廣泛，可分為工業領域和醫療領域。

  l工業領域：

 1.半導體光刻；

 2.準分子激光精密微加工；

 3.脈沖激光沉積等鍍膜設備的激發源；

 4.光譜、質譜等分析儀器的激發源；

  l醫療領域：

 1.準分子激光角膜切削術；

 2.冠脈血栓消融術（ELCA）；

 3.治療白癜風、銀屑病和過敏性皮炎。

答：準分子激光由于波長短、光子能量大、平均功率高、相干性較弱等特點，是非常好的激光加工光源，可以對絕大多數物質進行無熱效應的“冷”加工，既可以實現高分辨的芯片光刻，也可以對高分子等材料進行深度刻蝕。大多數聚合物在紫外波長的吸收都非常強烈，因此準分子激光加工高分子材料的效率很高。

問：準分子激光在平板顯示領域的主要應用？

答：準分子激光退火技術（ELA）采用308 nm準分子激光將非晶硅薄膜轉變成高質量多晶硅薄膜，提高TFT（薄膜晶體管）性能。308 nm準分子激光可以將玻璃基板上的透明柔性顯示電路進行剝離。